垂直磁気記録媒体及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：平木祐輔 , 関谷三男 , 渡辺敏章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-189545
公開番号（公開出願番号）：特開2012-048784
出願日： 2010年08月26日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：

【課題】1平方センチあたり1テラビット以上の面記録密度を実現するのに十分な垂直磁気異方性エネルギーと結晶粒径を有し、量産性に優れた垂直磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板1上に基板温度制御層2、下地層3、磁気記録層4を順次形成する。磁気記録層は、基板を加熱チャンバで加熱する第1工程と、C,Si酸化物からなる群から選ばれた少なくとも一種の非磁性材料を添加したFePtを主とする合金からなる磁気記録層を製膜チャンバで製膜する第2工程とからなる磁性層積層工程をN回(N≧2)繰り返して形成する。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

基板上に基板温度制御層を形成する工程と、前記基板温度制御層上に下地層を形成する工程と、前記下地層上に磁気記録層を形成する工程とを有し、前記磁気記録層を形成する工程は、前記基板を加熱チャンバで加熱する第1工程と、C,Si酸化物からなる群から選ばれた少なくとも一種の非磁性材料を添加したFePtを主とする合金からなる磁気記録層を製膜チャンバで製膜する第2工程とからなる磁性層積層工程をN回(N≧2)繰り返すことを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。

IPC (4件)：

G11B 5/851 , G11B 5/65 , G11B 5/66 , C23C 14/06

FI (4件)：

G11B5/851 , G11B5/65 , G11B5/66 , C23C14/06 T

Fターム (25件)：

4K029AA06 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA25 , 4K029BB02 , 4K029BD11 , 4K029CA05 , 4K029DC04 , 4K029EA01 , 4K029EA08 , 4K029FA07 , 4K029GA03 , 5D006BB01 , 5D006BB06 , 5D006BB07 , 5D006BB08 , 5D006CA05 , 5D006DA08 , 5D006FA09 , 5D112AA03 , 5D112AA05 , 5D112AA11 , 5D112BB01 , 5D112FA04 , 5D112GB01

前のページに戻る