特許

J-GLOBAL ID：201203093232579624

電子源アレイ並びにそれを備えた撮像装置及び表示装置

発明者： 本田 悠葵 ,  瀧口 吉郎 ,  江上 典文 ,  難波 正和 ,  谷口 昌照 ,  中村 和仁 ,  西周 慶久
出願人/特許権者： 日本放送協会 ,  財団法人エヌエイチケイエンジニアリングサービス ,  双葉電子工業株式会社
代理人 (1件)： 有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-049257
公開番号（公開出願番号）：特開2012-186073
出願日： 2011年03月07日
公開日（公表日）： 2012年09月27日
要約：

【課題】リーク電流の発生を抑えつつ、電子ビームの集束効果の向上及び電子ビーム量の増加を図ることができる電子源アレイを提供する。【解決手段】電子源10は、エミッタ電極11、第1絶縁膜12、第1ゲート電極13、第2絶縁膜14、第2ゲート電極15、第3絶縁膜16、集束電極17を備え、第2絶縁膜14及び集束電極17にそれぞれ形成された開口部14a及び17aは、第1ゲート電極13及び第2ゲート電極15に形成された各開口部よりも大きい開口面積を有し、第3絶縁膜16に形成された開口部16aは、集束電極17に形成された開口部17aの開口面積以上の開口面積を有し、エミッタ電極11と第1ゲート電極13との間の電位差が、エミッタ電極11と集束電極17との間の電位差よりも大きく、エミッタ電極11と第2ゲート電極15との間の電位差よりも小さい構成を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に順次形成されたカソード電極膜、第1絶縁膜、第1ゲート電極、第2絶縁膜、第2ゲート電極、第3絶縁膜及び集束電極と、前記集束電極の表面から前記カソード電極膜に至る開口部と、該開口部によって露出されたカソード電極膜上に形成され電子を放出する電子放出部と、を備え、 前記第3絶縁膜に形成された開口部は、前記第2ゲート電極に形成された開口部よりも大きく、 前記集束電極に形成された開口部は、前記第3絶縁膜に形成された開口部の面積と同じか小さい、 ことを特徴とする電子源アレイ。

IPC (3件)：

H01J 1/304 ,  H01J 31/38 ,  H01J 31/12

FI (3件)：

H01J1/30 F ,  H01J31/38 Z ,  H01J31/12 C

Fターム (16件)：

5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG15 ,  5C036EG19 ,  5C036EH01 ,  5C036EH24 ,  5C037AA01 ,  5C037AB08 ,  5C037AB23 ,  5C135AA03 ,  5C135AC15 ,  5C135EE13 ,  5C135GG01 ,  5C135HH05 ,  5C135HH12