特許

J-GLOBAL ID：201203093309668684

感光性樹脂積層体

発明者： 姫田 優香理
出願人/特許権者： 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ,  旭化成ケミカルズ株式会社
代理人 (6件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  中村 和広 ,  小野田 浩之 ,  齋藤 都子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-232741
公開番号（公開出願番号）：特開2012-088388
出願日： 2010年10月15日
公開日（公表日）： 2012年05月10日
要約：

【課題】本発明は、高感度で、且つホールドタイムによる感度低下(すなわち感度変化)が少なく(すなわち保存安定性に優れ)生産性が良好な感光性樹脂積層体を提供することを目的とする。また本発明は、該感光性樹脂積層体を用いて、基板上に感光性樹脂層を形成し、該感光性樹脂層を露光及び現像することを含むレジストパターンの形成方法及び導体パターンの製造方法を提供することも目的とする。【解決手段】支持体フィルムと、感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層と、保護フィルムとを少なくとも含む積層体であり、該保護フィルムが特定構造を含む酸化防止剤を含有し、該酸化防止剤のフェノール当量が3.1×10-3以下であり、該保護フィルム中の該酸化防止剤の含有量が1ppmより多く3000ppm以下であり、該感光性樹脂組成物が特定構造の光重合性不飽和化合物を含有する感光性樹脂積層体を提供する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

支持体フィルムと、感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層と、保護フィルムとを少なくとも含む積層体であり、 該保護フィルムが、下記一般式(I):

IPC (6件)：

G03F 7/11 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18

FI (6件)：

G03F7/11 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 502 ,  H05K3/00 F ,  H05K3/06 H ,  H05K3/18 D

Fターム (47件)：

2H125AC24 ,  2H125AC32 ,  2H125AC34 ,  2H125AC35 ,  2H125AC63 ,  2H125AC64 ,  2H125AD00 ,  2H125AD14 ,  2H125AD24 ,  2H125AM13P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AM45N ,  2H125AN03P ,  2H125AN23N ,  2H125AN66P ,  2H125AN75P ,  2H125AN80P ,  2H125AN82P ,  2H125AN87P ,  2H125AN93P ,  2H125BA04P ,  2H125BA08P ,  2H125BA09N ,  2H125BA09P ,  2H125BA17P ,  2H125BA18P ,  2H125CA13 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD01N ,  2H125CD40 ,  2H125DA43 ,  5E339BE11 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339CF01 ,  5E339CF06 ,  5E339DD02 ,  5E339GG02 ,  5E343CC62 ,  5E343CC65 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG03