特許

J-GLOBAL ID：201203093951097364

熱物性解析装置及びこの装置を用いた熱物性解析方法

発明者： 乾 昌広 ,  高松 弘行 ,  三宅 修吾 ,  三宅 綾
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所 ,  株式会社コベルコ科研
代理人 (3件)： 小谷 悦司 ,  小谷 昌崇 ,  櫻井 智
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-053795
公開番号（公開出願番号）：特開2012-189468
出願日： 2011年03月11日
公開日（公表日）： 2012年10月04日
要約：

【課題】空間分解を高くしても精度よく被測定物の熱物性を解析・評価することができる熱物性解析装置及びこの装置を用いた解析方法を提供することを課題とする。【解決手段】本発明は、検出光出射手段20と検出光B2を測定部位11aまで導光する検出光用光学系40とを有して測定部位11aに検出光B2を照射する検出光照射手段を備え、検出光用光学系40は、光路長を変更するための光路長調節手段42と、その下流側に設けられ、内部に入射した前記検出光が全反射を繰り返して伝搬されることでこの検出光B2を所定の方向に出射する光導波路45と、を含み、光導波路45は、入射面45aが検出光B2の到達する位置で当該検出光B2が全反射条件で光導波路45内に入射可能な方向を向くように配設され、入射面45aの大きさが入射する検出光B2のビーム幅よりも大きいことを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被測定物表面の測定部位に光を照射し、その反射光に基づいて前記被測定物の熱物性についての解析を行う熱物性解析装置であって、 前記測定部位に加熱光を照射する加熱光照射手段と、 前記測定部位に温度変化を検出するための検出光を照射する検出光照射手段と、 前記測定部位からの前記検出光の反射光の強度を測定する反射光測定手段と、を備え、 前記検出光照射手段は、前記検出光を前記測定部位まで導光する検出光用光学系を有し、 前記検出光用光学系は、前記検出光の光路長を変更するための光路長調節手段と、前記検出光の光路上において前記光路長調節手段の下流側に設けられ、内部に入射した前記検出光が全反射を繰り返して伝搬されることでこの検出光を所定の方向に出射する光導波路と、を含み、 前記光導波路は、前記検出光が当該光導波路内に入射可能な入射面を有し、この入射面が前記光路長調節手段からの検出光の到達する位置で当該検出光が当該光導波路内に全反射条件で入射可能な方向を向いた姿勢で配設されることを特徴とする熱物性解析装置。

IPC (1件)：

G01N 25/18

FI (1件)：

G01N25/18 H

Fターム (10件)：

2G040AB08 ,  2G040AB09 ,  2G040BA26 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040EC02 ,  2G040HA05 ,  2G040HA16