特許

J-GLOBAL ID：201203096730012266

金属アルコキシドを含有する感光性組成物及びそれを用いたパターン状透明膜の製造方法

発明者： 近藤 学 ,  木村 佑希
出願人/特許権者： JNC株式会社
代理人 (4件)： 川口 嘉之 ,  松倉 秀実 ,  佐貫 伸一 ,  丹羽 武司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-065221
公開番号（公開出願番号）：特開2012-203061
出願日： 2011年03月24日
公開日（公表日）： 2012年10月22日
要約：

【課題】保存安定性に優れる感光性組成物であって、高透明性、高屈折率、及び高誘電率を有するパターニングされた薄膜を形成することが可能である感光性組成物、それを用いたパターン状透明膜の製造方法、これを用いて得られる表示素子を提供する。【解決手段】金属アルコキシド(A)と重合性二重結合を有する化合物(B)と光重合開始剤(C)とを、金属アルコキシド(A)が加水分解しない条件で混合して感光性組成物を調製し、得られた感光性組成物をネガ型感光性組成物として用いてパターン状透明膜を製造する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

金属アルコキシド(A)と重合性二重結合を有する化合物(B)と光重合開始剤(C)とを含有する感光性組成物を用いたパターン状透明膜の製造方法であって、 金属アルコキシド(A)と重合性二重結合を有する化合物(B)と光重合開始剤(C)とを、金属アルコキシド(A)が加水分解しない条件で混合してなる前記感光性組成物の塗膜を形成し、この塗膜の少なくともパターニングのための露光及び現像を行って、パターン状透明膜を製造する方法。

IPC (2件)：

G03F 7/004 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (14件)：

2H125AC35 ,  2H125AC38 ,  2H125AD07 ,  2H125AN10P ,  2H125AN22P ,  2H125AN58P ,  2H125AN80P ,  2H125AN89P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA21 ,  2H125CB02 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13