質量分析装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：磯野道造 , 多田悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-249260
公開番号（公開出願番号）：特開2012-104247
出願日： 2010年11月08日
公開日（公表日）： 2012年05月31日
要約：

【課題】小型軽量で、高精度な質量分析が可能な質量分析装置を提供する。【解決手段】測定試料4をイオン化するために外部から流入するガス23をイオン化するイオン源と、イオン化した測定試料4を分離する質量分析部102とを有し、イオン源は、質量分析部102からの差動排気によって内部が減圧され、ガス23を取り込み内圧が上昇して略100Pa〜略10000Paのときにガス23をイオン化し、質量分析部102は、ガス23の取り込みに連動して上昇した内圧がガス23の取り込み後に略0.1Pa以下に低下したときに、イオン化した測定試料4を分離する。イオン源が取り込むガス23の流量を抑制する抑制手段9と、イオン源が取り込むガス23の流れを開閉する開閉手段8とを有する。【選択図】図6E

請求項（抜粋）：

測定試料をイオン化するために外部から流入するガスをイオン化するイオン源と、イオン化した前記測定試料を分離する質量分析部とを有し、前記イオン源は、前記質量分析部からの差動排気によって内部が減圧され、前記ガスを取り込み内圧が上昇して略100Pa〜略10,000Paのときに前記ガスをイオン化し、前記質量分析部は、前記ガスの取り込みに連動して上昇した内圧が前記ガスの取り込み後に略0.1Pa以下に低下したときに、イオン化した前記測定試料を分離することを特徴とする質量分析装置。

IPC (2件)：

H01J 49/26 , H01J 49/10

FI (2件)：

H01J49/26 , H01J49/10

Fターム (12件)：

5C038GG08 , 5C038GG13 , 5C038GH03 , 5C038GH08 , 5C038GH09 , 5C038GH11 , 5C038GH17 , 5C038HH02 , 5C038HH03 , 5C038HH26 , 5C038HH28 , 5C038HH30

引用特許：

審査官引用 (2件)

特公昭59-004828
質量分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-321978 出願人：株式会社島津製作所

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