特許

J-GLOBAL ID：201203097437692437

基板処理システム、プロセスモジュール制御装置、基板処理装置及び基板処理プログラム

発明者： 石原 慎典
出願人/特許権者： キヤノンアネルバ株式会社
代理人 (2件)： 岩田 今日文 ,  瀬戸 さより
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-293525
公開番号（公開出願番号）：特開2012-142397
出願日： 2010年12月28日
公開日（公表日）： 2012年07月26日
要約：

【課題】 基板ごとに処理条件の指定を可能にする。【解決手段】 基板に対する処理を実行するプロセスモジュールを制御するプロセスモジュール制御装置を備え、プロセスモジュール制御装置は、処理すべき基板がプロセスモジュールに搬送される搬送タイミングを取得する搬送タイミング取得手段と、プロセスモジュールにおける基板の処理条件に関する処理条件基本情報を取得する基本情報取得手段と、プロセスモジュールにおける基板の処理条件の一部であって、基板ごとに設定される処理条件に関する処理条件差分情報を取得する差分情報取得手段と、搬送タイミング取得手段により取得される基板の搬送タイミングに応じ、基本情報取得手段及び差分情報取得手段により取得される処理条件に基づいて、プロセスモジュールに対し搬送される基板の処理条件を設定する制御手段と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板に対する処理を実行するプロセスモジュールを制御するプロセスモジュール制御装置を備え、 前記プロセスモジュール制御装置は、 処理すべき基板がプロセスモジュールに搬送される搬送タイミングを取得する搬送タイミング取得手段と、 前記プロセスモジュールにおける基板の処理条件に関する処理条件基本情報を前記基板の搬送タイミングより低い頻度で取得する基本情報取得手段と、 前記プロセスモジュールにおける基板の処理条件の一部であって、基板ごとに設定される処理条件に関する処理条件差分情報を前記基板の搬送タイミングより低い頻度で取得する差分情報取得手段と、 前記搬送タイミング取得手段により取得される基板の搬送タイミングに応じ、前記基本情報取得手段及び前記差分情報取得手段により取得される処理条件に基づいて、前記プロセスモジュールに対し搬送される基板の処理条件を設定する制御手段と、 を備えることを特徴とする基板処理システム。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  C23C 16/44 ,  C23C 16/54

FI (3件)：

H01L21/02 Z ,  C23C16/44 F ,  C23C16/54

Fターム (12件)：

4K030GA12 ,  4K030HA13 ,  4K030KA41 ,  5F004BD01 ,  5F004BD04 ,  5F004BD05 ,  5F004CA08 ,  5F045BB20 ,  5F045DQ15 ,  5F045GB01 ,  5F045GB11 ,  5F045GB16