特許

J-GLOBAL ID：201203097461499834

レジスト組成物

発明者： 山口 訓史 ,  夏 政煥
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-013744
公開番号（公開出願番号）：特開2012-168519
出願日： 2012年01月26日
公開日（公表日）： 2012年09月06日
要約：

【課題】優れたフォーカスマージンを有するレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】酸に不安定な基を有し、かつアルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂と、酸発生剤と、スルホニウム塩又はヨードニウム塩を含むクエンチャーと、シクロヘキサノンを含む溶剤とからなるレジスト組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

酸に不安定な基を有し、かつアルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂と、 酸発生剤と、 スルホニウム塩又はヨードニウム塩を含むクエンチャーと、 シクロヘキサノンを含む溶剤とからなるレジスト組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F7/004 501 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 502R

Fターム (26件)：

2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF27P ,  2H125AF38P ,  2H125AF41P ,  2H125AF70P ,  2H125AH04 ,  2H125AH17 ,  2H125AH23 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ68X ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN65P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03