特許

J-GLOBAL ID：201203097861777663

表示装置およびその製造方法

発明者： 浅沼 春彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-086901
公開番号（公開出願番号）：特開2012-222171
出願日： 2011年04月11日
公開日（公表日）： 2012年11月12日
要約：

【課題】配線にCuを用いる配線の電気抵抗値とTFTの電気特性値を均一にするアクティブマトリクス型表示装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板およびTFTを有する表示装置の製造方法であって、TFTは、電極および電極近接層を有し、電極は、銅および銅以外の添加元素を含み、以下の工程を含む表示装置の製造方法(A)基板の上に電極および電極近接層が形成される工程、(B)電極または電極近接層がオゾン水で洗浄される工程、(C)前記(B)の工程後の熱処理により、電極と電極近接層との界面に、酸素を含む酸化物膜が形成される工程。【選択図】 図2(d)

請求項（抜粋）：

基板およびTFTを有する表示装置の製造方法であって、 前記TFTは、電極および電極近接層を有し、前記電極は、銅および銅以外の添加元素を含み、 以下の工程を含む表示装置の製造方法 (A)前記基板の上に前記電極および電極近接層が形成される工程、 (B)前記電極または前記電極近接層がオゾン水で洗浄される工程、 (C)前記(B)の工程後の熱処理により、前記電極と前記電極近接層との界面に、酸素を含む酸化物膜が形成される工程。

IPC (9件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/320 ,  H01L 23/532 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/417 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49

FI (8件)：

H01L29/78 617M ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 616V ,  H01L29/78 627F ,  H01L21/88 M ,  H01L21/28 301R ,  H01L29/50 M ,  H01L29/58 G

Fターム (138件)：

4M104AA01 ,  4M104AA03 ,  4M104AA08 ,  4M104AA09 ,  4M104BB03 ,  4M104BB04 ,  4M104BB16 ,  4M104BB38 ,  4M104BB39 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD22 ,  4M104DD28 ,  4M104DD37 ,  4M104DD64 ,  4M104DD77 ,  4M104DD89 ,  4M104EE02 ,  4M104EE03 ,  4M104EE05 ,  4M104EE09 ,  4M104EE16 ,  4M104FF08 ,  4M104FF13 ,  4M104FF16 ,  4M104GG09 ,  4M104GG14 ,  4M104GG20 ,  4M104HH05 ,  4M104HH08 ,  5F033GG00 ,  5F033GG03 ,  5F033HH04 ,  5F033HH05 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH12 ,  5F033HH20 ,  5F033KK04 ,  5F033KK05 ,  5F033KK11 ,  5F033KK12 ,  5F033LL02 ,  5F033LL03 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033MM13 ,  5F033MM15 ,  5F033MM19 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ41 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ89 ,  5F033RR03 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033SS08 ,  5F033SS15 ,  5F033SS21 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033WW01 ,  5F033WW04 ,  5F033XX10 ,  5F033XX13 ,  5F033XX28 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC01 ,  5F110CC03 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD25 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE44 ,  5F110EE47 ,  5F110EE48 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF27 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG19 ,  5F110GG22 ,  5F110GG24 ,  5F110GG25 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG58 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK14 ,  5F110HK15 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK25 ,  5F110HK41 ,  5F110HK42 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ09