特許

J-GLOBAL ID：201203098895484394

ガス導入機構を備えた長尺基板の処理装置および処理方法、ならびに長尺基板の搬送方法

発明者： 大上 秀晴
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (2件)： 辻川 典範 ,  山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-269770
公開番号（公開出願番号）：特開2012-117130
出願日： 2010年12月02日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：

【課題】 摩擦係数が低減してキャンロールの回転駆動がフィルムに伝わりにくくなることを抑制できる長尺基板の処理装置を提供する。【解決手段】 真空チャンバー71内でロールツーロールで搬送される長尺基板Fに対して外周面にガス導入孔15を備えたキャンロール76に部分的に巻き付けながら熱負荷の掛かる処理を施す長尺基板の処理装置70であって、キャンロール76の外周面上に画定される搬送経路の前後にそれぞれ長尺基板Fをキャンロール76との間に挟み込むフィードロール75、81が設けられており、これら両フィードロール75、81のうちの少なくとも一方にはその外周面に長尺基板Fが搬送されるに従って長尺基板Fをその幅方向に広げるパターンを有する螺旋状溝30が長尺基板Fの搬送経路の中心線に関して略線対称に形成されている。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

真空チャンバー内でロールツーロールで搬送される長尺基板に対して外周面にガス導入孔を備えたキャンロールに部分的に巻き付けながら熱負荷の掛かる処理を施す長尺基板の処理装置であって、 前記キャンロールの外周面上に画定される搬送経路の前後にそれぞれ長尺基板をキャンロールとの間に挟み込むフィードロールが設けられており、これら両フィードロールのうちの少なくとも一方にはその外周面に長尺基板が搬送されるに従って長尺基板をその幅方向に広げるパターンを有する螺旋状溝が長尺基板の搬送経路の中心線に関して略線対称に形成されていることを特徴とする特徴とする長尺基板処理装置。

IPC (4件)：

C23C 14/56 ,  B65H 23/025 ,  B65H 27/00 ,  C23C 14/34

FI (5件)：

C23C14/56 B ,  B65H23/025 ,  B65H27/00 B ,  B65H27/00 A ,  C23C14/34 K

Fターム (15件)：

3F104AA03 ,  3F104BA10 ,  3F104JC06 ,  3F104JD20 ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA08 ,  4K029BA25 ,  4K029BB02 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DA04 ,  4K029DC39 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• コンタクトロール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-351254   出願人：東レ株式会社
• フィルムの加工装置および加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-090617   出願人：東レ株式会社
• 特開昭58-167346