特許
J-GLOBAL ID:201203098982782709
超音波振動子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-036868
公開番号(公開出願番号):特開2012-175507
出願日: 2011年02月23日
公開日(公表日): 2012年09月10日
要約:
【課題】送信時に十分なパワーを発生でき、且つ、受信時に十分な感度を得られる超音波振動子を構成する。また、DCバイアスを必要としない超音波振動子を構成する。【解決手段】超音波振動子は複数のセル14を有する。各セル14において、キャビティ20の上方には振動膜22が設けられ、それはシグナル電極層24及びグランド電極層26を備えている。振動膜22の本体は圧電材料を含み、そこでの圧電効果により生じた電圧が2つの電極層24,26により検知される。キャビティ20の上方には振動膜22と共に運動するマグネット30が設けられ、その下方には電磁石チップ36が設けられている。電磁石チップ36が交番磁界を生じさせ、これによりマグネット30に吸着力及び反発力が周期的に生じる。その結果、振動膜22が超音波振動する。【選択図】図2
請求項(抜粋):
基板上に形成された複数の送受波セルを含み、
前記各送受波セルは、
圧電材料を含む圧電層と、当該圧電層の前面及び背面に形成された一対の電極層と、を有し、超音波振動可能な振動膜と、
前記振動膜に取り付けられた可動磁性層と、
前記振動膜の背面側において前記振動膜から隔てて設けられた固定磁性層と、
を有し、
前記可動磁性層と前記固定磁性層の少なくとも一方が送信信号によって磁場を生じさせる磁場発生器として構成され、
送信時には磁気作用によって前記振動膜に超音波振動が引き起こされ、受信時には前記振動膜での圧電効果によって受信信号が生成される、ことを特徴とする超音波振動子。
IPC (4件):
H04R 1/40
, A61B 8/00
, H04R 17/00
, H04R 13/00
FI (4件):
H04R1/40 330
, A61B8/00
, H04R17/00 332Z
, H04R13/00 330
Fターム (15件):
4C601EE12
, 4C601GB02
, 4C601GB06
, 4C601GB14
, 4C601GB41
, 4C601GB45
, 5D019AA21
, 5D019BB03
, 5D019BB04
, 5D019BB19
, 5D019DD03
, 5D019FF04
, 5D019GG08
, 5D019GG09
, 5D019GG10
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