特許

J-GLOBAL ID：201203099032849676

ミストCVD装置及びミスト発生方法

発明者： 中濱 康治
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 平井 良憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-187019
公開番号（公開出願番号）：特開2012-046772
出願日： 2010年08月24日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：

【課題】コンパクトで高効率なミストCVD方法、およびミストCVD装置を提供する。【解決手段】底面に超音波振動子6が設置されたミスト発生容器内の原料溶液に、底面から斜め上方に超音波振動を与え、液柱7を斜め上方に向かって形成してミスト8を発生させる際に、斜め上方に向かって形成された液柱の頂点付近に衝突部材を設置する。このことにより、超音波振動子の設置間隔を小さくすることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の超音波振動子を備えたミスト発生容器を備えたミストCVD装置において、 前記超音波振動子を原料溶液の液面に対して斜めに配置し、 発生した液柱を衝突させるための衝突部材を備えたことを特徴とするミストCVD装置。

IPC (2件)：

C23C 16/448 ,  B05B 17/06

FI (2件)：

C23C16/448 ,  B05B17/06

Fターム (15件)：

4D074AA01 ,  4D074BB01 ,  4D074BB02 ,  4D074DD03 ,  4D074DD17 ,  4D074DD18 ,  4D074DD32 ,  4D074DD52 ,  4D074DD55 ,  4K030EA01 ,  4K030EA03 ,  4K030FA10 ,  4K030GA04 ,  4K030GA12 ,  4K030KA01