特許

J-GLOBAL ID：201203099681931403

端面検査装置

発明者： 篠原 剛 ,  本間 崇司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-227306
公開番号（公開出願番号）：特開2012-083125
出願日： 2010年10月07日
公開日（公表日）： 2012年04月26日
要約：

【課題】半導体ウェハ等の被検査体の端部の欠陥の種類を効率的に自動判別することが可能な検査装置を提供する。【解決手段】 被検査体の端部を第1の偏光状態の光で照明する照明部と、前記端部で拡散反射される反射光の第2の偏光状態の成分を透過する透過部と、前記透過部を透過した成分により前記端部の第1の像を形成する第1の像形成部と、を有することを特徴とする端部検査装置である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査体の端部を第1の偏光状態の光で照明する照明部と、 前記端部で拡散反射される反射光の第2の偏光状態の成分を透過する透過部と、 前記透過部を透過した成分により前記端部の第1の像を形成する第1の像形成部と、 を有することを特徴とする端部検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/956

FI (2件)：

G01N21/88 H ,  G01N21/956 A

Fターム (10件)：

2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA08 ,  2G051EB01