特許

J-GLOBAL ID：201203099763858275

塗布装置、塗布方法、およびパターン修正装置

発明者： 小池 孝誌
出願人/特許権者： NTN株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-274931
公開番号（公開出願番号）：特開2012-124380
出願日： 2010年12月09日
公開日（公表日）： 2012年06月28日
要約：

【課題】基板表面の微細領域に安定して液体を塗布することが可能な塗布装置を提供する。【解決手段】この塗布装置では、ノズル1の内部にインク2を注入し、ノズル1に固定した歪センサ3の出力信号に基づいてノズル1の先端が基板4の表面に接触したか否かを判別する。制御部5は、Zステージ7を制御してノズル1を基板4の方向に移動させ、ノズル1の先端が基板4の表面に接触したことに応じてノズル1を停止させ、ノズル1の先端のインク2を基板4の表面に塗布する。したがって、ノズル1の先端径と略同じ径のインク層2aを塗布できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の表面に液体を塗布する塗布装置であって、 その内部に前記液体が注入され、先端が前記基板に対向して設けられたノズルと、 前記ノズルの先端が前記基板の表面に接触したことを検出する接触検出手段と、 前記ノズルを前記基板の方向に移動させ、前記接触検出手段によって前記ノズルの先端が前記基板の表面に接触したことが検出されたことに応じて前記ノズルを停止させ、前記ノズルの先端の前記液体を前記基板の表面に塗布する駆動手段とを備える、塗布装置。

IPC (4件)：

H05K 3/22 ,  B05C 5/02 ,  B05D 7/00 ,  H05K 3/10

FI (4件)：

H05K3/22 D ,  B05C5/02 ,  B05D7/00 H ,  H05K3/10 D

Fターム (26件)：

4D075AC41 ,  4D075AC93 ,  4D075AC94 ,  4D075CA22 ,  4D075CB38 ,  4D075DA06 ,  4D075DA27 ,  4D075DB13 ,  4D075DC24 ,  4D075EA14 ,  4D075EA33 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA16 ,  4F041AB01 ,  4F041BA11 ,  4F041BA21 ,  4F041BA57 ,  5E343AA26 ,  5E343BB23 ,  5E343BB25 ,  5E343BB71 ,  5E343DD12 ,  5E343ER51 ,  5E343FF05 ,  5E343GG08