特許

J-GLOBAL ID：201203099805675168

層内レンズおよびその形成方法、固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器

発明者： 山内 博史
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (3件)： 山本 秀策 ,  安村 高明 ,  大塩 竹志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-188896
公開番号（公開出願番号）：特開2012-049270
出願日： 2010年08月25日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：

【課題】レンズ形状を比較的容易に制御でき、レンズ-基板間距離が増加した場合に感度向上および今後の微細化を暗時特性の副作用なく実現できる。【解決手段】第1平坦化層11の表面側からInイオンを注入することにより、Inイオンの注入領域のみを高屈折率化して、下にのみ凸形状の層内レンズ12を形成するレンズ形成工程を有している。第1平坦化層11は、受光部3とこの受光部3に入射光を集光させるためのマイクロレンズ15との間に設けられている。イオン注入領域は、屈折率1.7〜2.0に形成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上の層間膜に設けられ、入射光を所定位置に集光させる層内レンズにおいて、Inイオンの注入により該層間膜のイオン注入領域が高屈折率化されて下にのみ凸形状のレンズ形状に形成されている層内レンズ。

IPC (5件)：

H01L 27/14 ,  H01L 27/146 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/369 ,  G02B 3/00

FI (6件)：

H01L27/14 D ,  H01L27/14 A ,  H01L27/14 B ,  H04N5/335 690 ,  G02B3/00 Z ,  G02B3/00 A

Fターム (20件)：

4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA01 ,  4M118DA02 ,  4M118EA03 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118GB03 ,  4M118GB08 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024GY01 ,  5C024GY31 ,  5C024GZ34