研課題
J-GLOBAL ID:201204008937112560  研究課題コード:6210 更新日:2013年10月07日

ナノ厚さ薄膜の高分解能可視化法

実施期間:2008 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
フォトレジスト、酸化シリコン絶縁膜などナノ厚さの液体・固体薄膜の形成・分布制御は、マイクロ・ナノテクノロジーのキーとなる技術である。そして、この形成・分布制御のための有効な評価法として、ナノ薄膜の分布をリアルタイムに動的観測する手段が強く求められている。この観測法には、高分解能でかつ非接触な動的観測が要請されるが、従来技術ではこれらを満たすものがなく、面内分解能(解像度)としては高々数μm程度であった。本課題は、考案したナノ薄膜を直接可視化する光学的方法により、動的でかつ高分解能(サブμm)な観測法を確立しようとするものである。
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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