研課題
J-GLOBAL ID:201204010262399958  研究課題コード:7028 更新日:2013年10月07日

マイクロセンサ・アクチュエータ用BiFeO3非鉛圧電体薄膜の開発

実施期間:2009 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
超音波センサ、超小型マイク、発振子、環境振動発電等のセンサ・アクチュエータにおいて圧電体薄膜は重要な基幹部であり、これまでPZT(PbZrXTi1-XO3)膜が多く用いられてきたが、有害な鉛を含まない物質の創製が望まれている。その候補としてBaTiO3やKNbO3等が研究されているが低いキュリー温度、拡散によるSi素子の損傷等問題がある。最近、BiFeO3を薄膜化しその優れた強誘電性を発見したことから、巨大圧電性も非常に期待されている。本研究ではBiFeO3薄膜を作製し、圧電性を調べ、最適な製法、組成を検討し、圧電定数を大きく増大させる方法を明らかにして、PZTに代わる圧電体薄膜として実用化を図る。
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

前のページに戻る