研課題
J-GLOBAL ID:201204017457426717  研究課題コード:7115 更新日:2013年10月07日

ミリ波照射による高性能窒化珪素粉末合成法の開発と実用化

実施期間:2008 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
従来法より一桁近く短時間で高性能かつ低コストの窒化シリコン粉末を合成するプロセスを開発して実用を目論むものである。具体的には高純度シリコン粉末にミリ波帯電磁波を照射して、シリコンの融点以下の低温条件で粒径のそろった窒化シリコン粉末を短時間(1-2時間)で合成し、粉末の高品質化と低コスト化を実現する。これにより新しい高性能窒化シリコン粉末合成法の確立と市場への展開をはかるものである。
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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