研課題
J-GLOBAL ID:201204024811699757  研究課題コード:5509 更新日:2013年10月07日

プラズマフォーカス装置による低コスト・高品質のDLCパルス製膜技術の開発

実施期間:2008 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
ダイアモンド様炭素(DLC)は、高硬度・低摩擦等の特性からコーティング材として幅広い応用が期待される。本課題では、高品質DLC膜生成を目指し、プラズマフォーカス(PF)装置を用いたパルス製膜技術の開発を行う。PFは大電流ピンチプラズマ生成装置であり、プラズマから高エネルギー密度の電子及びイオンビームが生成される。我々は、ビーム照射により生成されるプラズマによる高速製膜とビーム照射による膜質改善、パルス加熱による熱処理効果が同時に期待出来る製膜技術を開発した。この製膜法についてDLC膜の物性評価、製膜条件の最適化を通じてその実用化を目指す。
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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