研課題
J-GLOBAL ID:201204036024840459  研究課題コード:6144 更新日:2013年10月07日

半導体レーザの自己結合効果を用いた高精度微小振動センサシステムの開発

実施期間:2008 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
半導体集積回路の細線化やMEMS等ナノ技術の進歩に伴い、製造過程において従来無視されてきたnm程度の微小振動を非接触で測定できる微小振動センサシステムの開発を目的とする。半導体レーザ光を対象物に照射したとき、散乱光の一部がレーザに戻りレーザ共振器内の光と干渉し、出力光が僅かに変化する自己結合効果を利用する。本センサシステムは、簡単な構成で小型、安価であるが、外部振動にも強く非接触でnm程度の微小振動検出が期待できる。
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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