研課題
J-GLOBAL ID:201204039436142330  研究課題コード:9367 更新日:2013年10月07日

引張応力を持つシリコン薄膜の創製と高機能マイクロミラーデバイスへの応用

実施期間:2005 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
強い引張応力を持つシリコン薄膜を新しく導入して、マイクロミラーデバイスを多くのアプリケーションに適用できるよう性能アップする。主に実用化を阻んでいるのは以下の3問題である。 1低電圧駆動で、かつ大きなミラー回転角を得ることが難しいこと 2ミラー回転角の高精度制御が難しいこと 3高速動作に適した、軽くて光の波長レベルで平坦なミラーの製作が難しいこと本研究は直接には1と3を解決するマイクロミラーデバイスの試作と評価である。
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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