研課題
J-GLOBAL ID:201204045505816216  研究課題コード:3774 更新日:2013年10月07日

浮遊型プローブによるプロセスプラズマ分析装置の開発

実施期間:2010 - 継続中
実施機関 (2件):
実施研究者(所属機関) (2件):
研究概要:
本課題では、集積回路(LSI)プロセスの中心技術である半導体製造プラズマ装置、ロケットスラスタープラズマさらには生物生体プロセスプラズマなど広範な応用プラズマの分析技術として、電子放出可能な浮遊型プローブ法を提案し、その原理特許を取得済みの技術をもとに、プラズマ電子エネルギー分析、電子・イオン密度解析、プラズマポテンシャル分布などの総合的分析を可能とするプラズマ分析装置プロトタイプの開発を目指します。
研究制度: 先端計測分析技術・機器開発プログラム
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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