研課題
J-GLOBAL ID:201204053331532518  研究課題コード:6394 更新日:2013年10月07日

高品質強誘電体膜の環境低負荷型厚膜化プロセス開発

実施期間:2005 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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