研課題
J-GLOBAL ID:201204058579813132  研究課題コード:4834 更新日:2013年10月07日

大型・高精度レーザ干渉計システム用直角参照鏡誤差校正システムの開発

実施期間:2009 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
一般に直角参照鏡を使った二軸のレーザー干渉計によって、二次元ステージの変位が高精度に測定されている。直角参照鏡に形状誤差があると、レーザー干渉計の出力は、二次元ステージの軸の形状誤差と直角参照鏡の形状誤差の複合した信号となる。これらの信号から二種類の誤差をステージの再現性と自己校正テクニックにより分離し、参照鏡の形状誤差を測定することを目的とする。
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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