研課題
J-GLOBAL ID:201204082270596038  研究課題コード:9277 更新日:2013年10月07日

ZnO系薄膜を用いた高感度紫外線パネル検出器の開発

実施期間:2008 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
本研究では、紫外線照射で電気抵抗が大きく低下する窒素(N)ドープZnO薄膜を用いて、マトリックス状の受光部を持つ光導電型紫外線パネル検出器の可能性を追求する。縦横の配線には、低抵抗のZnO系透明導電膜を使用する。受光部は、紫外線応答する高抵抗薄膜を縦横の配線の交差部に介在させた積層構造となっている。本実験では、積層膜形成による問題点及びマトリックス検出器の計測上の問題点を明確にし、ZnO系検出器の開発を図る。
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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