研課題
J-GLOBAL ID:201204084653250260  研究課題コード:3751 更新日:2013年10月07日

ナノプローブ形成用電界電離型ガスイオン源の開発

実施期間:2010 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
Ga液体金属イオン源(Ga-LMIS)を搭載した現行の集束イオンビーム装置では、試料観察・加工時に照射Gaイオンによる試料汚染が深刻な問題となっています。またGaイオンのエネルギー拡がりに起因する色収差が、集束特性悪化の原因になっています。本課題では、Ga-LMISに替わる高輝度イオン源として電界電離型ガスイオン源を開発し、不活性な重希ガスイオン(Ne,Ar)の高輝度ビーム形成を実証すると共に、実用化に向けてビーム電流の安定度の向上およびエミッターの長寿命化を図ります。
研究制度: 先端計測分析技術・機器開発プログラム
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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