研課題
J-GLOBAL ID:201204086976703304  研究課題コード:6195 更新日:2013年10月07日

三次元形状高速プラズマ処理法の開発

実施期間:2008 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
金属製機械部品の三次元形状面に対するダイヤモンドライクカーボン(DLC)成膜に大きな需要がある.しかしながらプラズマやイオンビーム処理は専らシリコンウェハのような平面基板を対象として発展してきたため,三次元形状面に対して高速にDLC成膜を行う方法の開発は十分に行われてこなかった.そこで我々は“マイクロ波が,負電位に有る金属表面に沿って高密度(1011~1012 cm-3)プラズマを生成しながら伝搬する“という技術シーズを利用して,三次元形状面を一括して高速に処理できる新しいプラズマ処理法を開発する.
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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