研課題
J-GLOBAL ID:201204092495090180  研究課題コード:4284 更新日:2013年10月07日

層状水噴射によるディーゼル排気有害物質の低減

実施期間:1999 - 2003
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
超精密半導体製造技術を駆使したLIGAプロセスの露光プロセスをマイクロ研削に置換した、メカニカルマイクロファブリケーションシステムの開発を行いました。高速電鋳技術を開発できたとともに□50μmのマイクロコラムとその反転金型を試作しました。
研究制度: 地域研究開発促進拠点支援(RSP)事業
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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