研課題
J-GLOBAL ID:201204092538852615  研究課題コード:4811 更新日:2013年10月07日

集積回路における配線ベース故障カバレージの高精度化手法の開発

実施期間:2009 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
量産選別工程で良品と判断された半導体チップが市場で不良を生じるテストエスケープが深刻な問題となっている。本研究では、セル内のビア/コンタクトに生じる抵抗性配線故障を対象とすることにより、高精度故障カバレージ98%を達成する。半導体の微細化プロセスに対して、より現実に即した新しい尺度を提案しているところに特徴がある。ゲートごとのパラメータ抽出後、拡充ルールを開発する。
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

前のページに戻る