研課題
J-GLOBAL ID:201204094563045352  研究課題コード:6204 更新日:2013年10月07日

半導体結晶成長評価のための新らしい回折計の開発

実施期間:2008 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
X線回折測定の一種、X線CTR(crystal truncation rod)散乱測定は、原子層単位で原子分布を評価できる。本研究では、これまで行ってきた半導体結晶成長装置と容易に組み合わせ可能なX線CTR散乱測定法の開発を推し進め、新たに設計された導入するスリット系の導入によって、測定精度と測定されるスペクトルの質を大幅に向上するとともに、多様な測定モードでの測定が可能な装置とすることを目的とする。
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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