研課題
J-GLOBAL ID:201204095015211496  研究課題コード:6441 更新日:2013年10月07日

ナノ材料精密成長のためのパルス変調ガス導入型高真空CVD装置の開発

実施期間:2009 - 継続中
実施機関 (1件):
実施研究者(所属機関) (1件):
研究概要:
本研究では、複数の原料ガスをパルス状に変調してリアクタ内に導入することを特徴とする高品質ナノ材料(カーボンナノチューブ:CNT)生成法の開発を行う。本方法では、CVDリアクタ内へのガス流量制御を従来方法よりも精密に行うことが可能である。これにより、各原料ガスの機能をより明瞭に発現させることができ、従来よりも高効率な精密CNTプロセスの構築が可能となる。
研究制度: シーズ発掘試験
研究所管省庁:
文部科学省
研究所管機関:
独立行政法人科学技術振興機構
上位研究課題 (1件):

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