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J-GLOBAL ID:201206051534691454
マイクロリソグラフィー
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用語の主な分野です
電子素子
関連語 (1件):
微細加工
(fine patterning)
微細加工 について
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上位語 (1件):
リソグラフィー
(lithography)
リソグラフィー について
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