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J-GLOBAL ID：201206076908446753

陽子ビーム描画

電子素子
同義語 (2件)：

プロトンビーム描画 (proton beam writing)
プロトンビーム描画について
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陽子線描画 (proton beam writing)
陽子線描画について
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関連語 (1件)：

陽子ビーム (proton beam)
陽子ビームについて
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上位語 (1件)：

リソグラフィー (lithography)
リソグラフィーについて
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