百瀬健

モモセタケシ | Momose Takeshi

所属機関・部署：
職名：教授
ホームページURL (1件)： http://www.fpelab.cs.kumamoto-u.ac.jp

研究分野 (4件)：反応工学、プロセスシステム工学 , 電子デバイス、電子機器 , 薄膜、表面界面物性 , 材料加工、組織制御

研究キーワード (9件)：薄膜 , プロセス工学 , 反応工学 , 材料学 , 半導体デバイス , 超臨界流体 , 超臨界流体薄膜堆積法(SCFD) , 原子層堆積(ALD) , 化学気相堆積(CVD)

論文 (64件)：

Noboru Sato, Jun Yamaguchi, Masahiro Koto, Hayato Kubo, Takanori Sugiyama, Takahito Tanibuchi, Momoko Deura, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki. Theoretical study on gas-phase reactions during chemical vapor deposition of Ti_xAl_1-xN from TiCl₄, AlCl₃, and NH₃. International Journal of Chemical Kinetics. 2024
Jun Yamaguchi, Noboru Sato, Atsuhiro Tsukune, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki. Atomic Layer Deposition of Cobalt Film from Dicobalt-hexacarbonyl-tert-butylacetylene and Hydrogen. ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2023. 12. 11. 114003-114003
Momoko Deura, Takuya Nakahara, Wan Chi Lee, Takeshi Momose, Yoshiaki Nakano, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki. Effect of layer structure of AlN interlayer on the strain in GaN layers during metal-organic vapor phase epitaxy on Si substrates. Journal of applied physics. 2023. 133. 16
Kohei Shima, Yuhei Otaka, Noboru Sato, Yuichi Funato, Yasuyuki Fukushima, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki. Kinetic Study on Heterogeneous Nucleation and Incubation Period during Chemical Vapor Deposition. The Journal of Chemical Physics. 2023. 158. 12. 124704-1-12
Yuyuan Huang, Momoko Deura, Yusuke Shimoyama, Yukihiro Shimogaki, Takeshi Momose. Supercritical fluid deposition for conformal Cu film formation on sub-millimeter-scale structures used to fabricate terahertz waveguides. Applied physics express. 2022. 15. 7

MISC (240件)：

Haonan Liu, Yuxuan Wu, Jun Yamaguchi, Noboru Sato, Atsuhiro Tsukune, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki. “Development of Molybdenum Atomic Layer Deposition Process for Next Generation ULSI Interconnect”. ADMETA Plus 2023, Oct. 11-13, 2023, Tokyo, Japan. 2023
Shunsuke Kimura, Jun Yamaguchi, Noboru Sato, Atsuhiro Tsukune, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki. “In Situ observation of initial stage of Cobalt ALD using reflected light measurement”. ADMETA Plus 2023, Oct. 11-13, 2023, Tokyo, Japan. 2023
Jun Yamaguchi, Noboru, Sato, Atsuhiro Tsukune, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki. "Examination of Co-ALD process using CCTBA precursor". ADMETA Plus 2023, Oct. 11-13, 2023, Tokyo, Japan. 2023
Yuxuan Wu, Jun Yamaguchi, Noboru Sato, Haonan Liu, Atsuhiro Tsukune, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki. “Study of Cu precursors Adsorption Behavior on Cu (111) Surface by Density Functional Theory”. ADMETA Plus 2023, Oct. 11-13, 2023, Tokyo, Japan. 2023
Yubin Deng, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki. “Investigation of oxidation impact on Cu diffusivity in ultra-thin PVD-Co(W) films”. ADMETA Plus 2023, Oct. 11-13, 2023, Tokyo, Japan. 2023

書籍 (5件)：

講演・口頭発表等 (27件)：

Supercritical fluid deposition for semiconductors
(The Society of Chemical Engineering, Japan, 89th annual Meeting (international session) 2024)
超臨界流体薄膜堆積法の基礎と半導体応用
(公益社団法人新化学技術推進協会 2024)
半導体集積地熊本での薄膜プロセス研究
(化学工学会東北支部夏季セミナー 2023)
タイムラグ法を用いた極薄PVD-Co(W)薄膜の定量的バリア性評価
(電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会 2022)
超臨界流体薄膜堆積法(SCFD):速度論からデバイス応用まで
(化学工学会第52回秋季大会 2021)

学位 (1件)：

経歴 (7件)：

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委員歴 (20件)：

2024/07 - 現在第17回JAFOE 日米先端工学シンポジウム (2025). Sesseion Chair “Heterogeneous Integration in Semiconductors”
2023 - 現在化学工学会エレクトロニクス部会幹事
2023 - 現在化学工学会超臨界流体部会部会連携委員
2022 - 現在応用物理学会シリコンテクノロジー分科会幹事
2022 - 現在応用物理学会シリコンテクノロジー分科会多層配線システム研究委員会委員

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受賞 (4件)：

2024/03 - 化学工学会 2023年度化学工学会部会活動貢献賞(部会CT賞) 超臨界流体部会における部会活動の企画、運営と活性化への顕著な貢献
2012/03 - 化学工学会平成23年度化学工学会研究奨励賞(内藤雅喜記念賞) 超臨界流体を用いた金属薄膜堆積プロセスの構築
2011/09 - 化学工学会CVD反応分科会平成23年度若手奨励賞超臨界Cu薄膜堆積プロセスの体系的理解に基づくウェハスケール反応器設計
2011/09 - Advanced Metallization Conference ADMETA Poster Award 2011 Mass Production Reactor design for Cu Interconnects on 12-inch Wafers Using Supercritical Fluid Deposition

所属学会 (3件)：

エレクトロニクス実装学会 , 応用物理学会 , 化学工学会

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百瀬 健