文献

J-GLOBAL ID：201302200059404559   整理番号：13A1033011

超臨界二酸化炭素乳化電解質を用いた銅の電気めっきに及ぼす圧力の効果

Effects of pressure on electroplating of copper using supercritical carbon dioxide emulsified electrolyte

著者 (4件)： CHANG Tso-fu Mark ,  SHIMIZU Tetsuya ,  ISHIYAMA Chiemi ,  SONE Masato
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 529  ページ： 25-28  発行年： 2013年02月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超臨界CO₂乳濁液(SCE)によるCuの電気めっきを,電気めっき反応におけるSCEの効果を明確にするために研究した。サイズ及び分散相のサイズ分布は,圧力の上昇とともに縮小し,拡散層へのCu²⁺の移動効率を促進し,SCEによる電気めっきにおける周期的めっき特性のオンタイムの短縮を引き起こすと予測した。表面粗さ及び結晶粒サイズの両最小値は,圧力を9から21Paまで上げたとき,15MPaにおいて電気めっきしたCu膜に関して観測した。分散相に関する臨界サイズは,大体15MPaにおいて達せられると考えた。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *銅 ,  *電気めっき ,  *乳濁液 ,  *二酸化炭素 ,  *臨界 ,  *結晶粒径 ,  *圧力効果 ,  表面粗さ ,  *超臨界
準シソーラス用語： *結晶粒サイズ ,  サイズ分布 ,  圧力依存性

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  電気めっき  (WC08023B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 超臨界二酸化炭素 ,  乳化 ,  電解質 ,  銅 ,  電気めっき