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J-GLOBAL ID：201302200174183396   整理番号：13A1560716

微細組立用光ピンセット

Optical tweezers in microassembly

著者 (3件)： OSTENDORF A. (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  GHADIRI R. (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  KSOURI S.I. (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8607  ページ： 86070U.1-86070U.11  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集積ハイブリッドMEMSで必要になる微細組立てに対する光ピンセットの可能性について検討した。光学的捕獲では微小粒子の操作が制御を複雑にする粘着力なしで可能になる。光ピンセットにより広範囲の直径と材料(高分子,ガラス)の透明微小球の効率的かつ高精度の捕獲ができる。さらに,空間的レーザー変調により不透明な微小粒子の捕獲が,また,レーザビームの多重化により数個の粒子の同時操作が可能になる。粒子を組み立て用ブロックにして,粒子に被覆した高親和性生体分子により結合することができる。より複雑な微細構造を実現するために,2PP(二光子高分子化)により非球形組み立てブロックを作製し,組立て用の前駆形状として使用した。相補的な微細構造を作製することにより,これらを機械的に結合することができる。全光学的手法により,どの段階においても分解と再配置が可能な高い柔軟性を持つ完全微細環境を構築することができた。

シソーラス用語： *MEMS ,  *光トラッピング ,  *透明材料 ,  *ミクロスフェア ,  処理 ,  レーザビーム ,  粒子 ,  *被覆 ,  *分子 ,  *微細構造 ,  ビーム ,  二光子吸収 ,  *組立
準シソーラス用語： 光ピンセット ,  微小球 ,  生体分子 ,  多重ビーム

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 微細組立 ,  光ピンセット