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J-GLOBAL ID：201302200252545151   整理番号：13A1240705

高温超伝導単結晶物質に基づく大サイズJosephson固有接合の製造

FABRICATION OF LARGE SIZE JOSEPHSON INTRINSIC JUNCTIONS BASED ON THE HIGH TEMPERATURE SUPERCONDUCTING SINGLE CRYSTAL MATERIAL

著者 (6件)： Zhang Qiuyi (Res. Inst. of Superconductor Electronics,Nanjing Univ., Nanjing) ,  Jiang Zhenguo (Res. Inst. of Superconductor Electronics,Nanjing Univ., Nanjing) ,  Chen Jian (Res. Inst. of Superconductor Electronics,Nanjing Univ., Nanjing) ,  Kang Lin (Res. Inst. of Superconductor Electronics,Nanjing Univ., Nanjing) ,  Xu Weiwei (Res. Inst. of Superconductor Electronics,Nanjing Univ., Nanjing) ,  Wu Peiheng (Res. Inst. of Superconductor Electronics,Nanjing Univ., Nanjing)
資料名： Diwen Wuli Xuebao  (Diwen Wuli Xuebao)
巻： 34  号： 5  ページ： 327-332  発行年： 2012年 
JST資料番号： C2352A  ISSN： 1000-3258  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 高温超伝導単結晶物質に基づき,整然とした特性および高い一貫性を有する大サイズテラヘルツエミッタ装置を製作することに成功した。製造プロセスをまとめて,改良した。走査電子顕微鏡を使用して,アルゴンイオンミリングの後試料特性を観測して,フォトリソグラフィー過程の最適ポスト-焼成温度状態を決定した。優れた繰り返し性および高い成功率製造プロセスを報告した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： *高温超伝導 ,  単結晶 ,  大型 ,  フォトリソグラフィー ,  走査電子顕微鏡 ,  電流 ,  イオンエッチング ,  生産工程 ,  測定精度 ,  電磁波 ,  温度 ,  温度条件 ,  テラヘルツ波
準シソーラス用語： 大サイズ ,  ジョセフソン電流 ,  イオンミリング ,  製造プロセス ,  繰返し性 ,  テラヘルツ ,  焼成温度 ,  温度状態

分類 (1件)： 酸化物系超伝導体の物性  (BM04023I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高温超伝導 ,  単結晶 ,  物質 ,  大サイズ ,  固有