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J-GLOBAL ID：201302200808839591   整理番号：13A1576571

高分解能力スペクトロスコピのための直角位相干渉計

Quadrature phase interferometer for high resolution force spectroscopy

著者 (3件)： PAOLINO Pierdomenico (Lab. de physique, Univ. de Lyon, ENS Lyon, CNRS, Lyon 69364, FRA) ,  AGUILAR SANDOVAL Felipe A. (Lab. de physique, Univ. de Lyon, ENS Lyon, CNRS, Lyon 69364, FRA) ,  BELLON Ludovic (Lab. de physique, Univ. de Lyon, ENS Lyon, CNRS, Lyon 69364, FRA)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 84  号： 9  ページ： 095001-095001-9  発行年： 2013年09月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文において我々は,原子間力顕微鏡法(AFM)のための撓み測定構成について述べる。それは直角位相差干渉計に基づく:我々は片持ち梁先端の上で反射するレーザビームと,センサの静止した基部で反射する参照ビームの間の,光路差を測定する。非常に低い環境感受性を用いた設計と,広いスペクトル領域で較正した測定を可能にする他の一つを述べる。両者は非常に高い分解能(下に2.5×10^-15m/√<span style=text-decoration:overline>H</span><span style=text-decoration:overline>z</span>まで)を可能にし,AFM片持ち梁についての熱的ノイズ測定によって例証する。それらは,干渉計の光位相と独立な優れた長期間安定性と一定の感度を与える。短いレビューは我々の精度が,上に数μmまでのはるかに大きい撓み範囲を別にすれば,文献で報告された最も良い結果に匹敵するかまたは性能がより優れていることを示す。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 顕微鏡観察 ,  *原子間力顕微鏡 ,  *たわみ ,  計測 ,  高分解能 ,  干渉計 ,  片持梁 ,  レーザビーム ,  雑音 ,  精度

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 分解能力 ,  スペクトロスコピ ,  直角 ,  位相 ,  干渉計