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J-GLOBAL ID：201302200863053505   整理番号：13A0752918

高移動度薄膜トランジスタに関する酸素欠乏非晶質及びアナターゼTiO_2-xチャネルのd軌道規則化

d-orbital ordering of oxygen-deficient amorphous and anatase TiO_2-x channels for high mobility thin film transistors

著者 (3件)： CHOI Kwang-hyuk (Dep. of Advanced Materials Engineering for Information and Electronics, Kyung Hee Univ., 1 Seocheon-dong, Yongin-si ...) ,  CHUNG Kwun-bum (Dep. of Physics, Dankook Univ., Mt. 29, Anseo-Dong, Cheonan 330-714, KOR) ,  KIM Han-ki (Dep. of Advanced Materials Engineering for Information and Electronics, Kyung Hee Univ., 1 Seocheon-dong, Yongin-si ...)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 102  号： 15  ページ： 153511-153511-5  発行年： 2013年04月15日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *薄膜トランジスタ ,  *酸化チタン ,  薄膜成長 ,  *非晶質 ,  *アナターゼ ,  *酸素欠乏 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *RTA【熱処理】 ,  *相転移 ,  分子軌道 ,  規則化
準シソーラス用語： 高移動度 ,  DCスパッタリング ,  *急速熱アニーリング ,  d軌道

分類 (4件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  無機化合物の結晶構造一般  (BK07001T) ,  固相転移  (BL04020G)

タイトルに関連する用語 (8件)： 高移動度 ,  薄膜トランジスタ ,  酸素欠乏 ,  非晶質 ,  アナターゼ ,  チャネル ,  d軌道 ,  規則化