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J-GLOBAL ID：201302201687684605   整理番号：13A0393529

Monolithic micro-fabrication of Si micro-electro-mechanical structure with GaN light emitting diode

著者 (5件)： HANE K ,  HU Fr ,  SAMESHIMA H ,  WAKUI M ,  ITO R
資料名： MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
巻： 16  号： 6  ページ： 1015-1020  発行年： 2010年 
JST資料番号： O3892A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (3件)： Si ,  GaN ,  LIGHT