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J-GLOBAL ID:201302201868885700   整理番号:13A0032603

RF MEMS(無線周波数マイクロ電気機械システム)容量型スイッチにおける衝撃動力学のシミュレーション

Simulations of Impulsive Dynamics in RF MEMS Capacitive Switches
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資料名:
巻: 2011  号: Vol.11  ページ: 153-158  発行年: 2012年 
JST資料番号: W2290A  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)

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