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J-GLOBAL ID：201302202282476564   整理番号：13A0032604

MEMS(マイクロ電気機械システム)における流体,構造及び静電気相互作用へのはめ込み境界法の適用

APPLICATION OF IMMERSED BOUNDARY METHOD TO FLUID, STRUCTURE AND ELECTROSTATICS INTERACTION IN MEMS

著者 (4件)： MATHUR Sanjay (Purdue Univ., IN) ,  SUN Lin (Purdue Univ., IN) ,  DAS Shankhadeep (Purdue Univ., IN) ,  MURTHY Y. Jayathi (Purdue Univ., IN)
資料名： Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition  (Proceedings of the ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition)
巻： 2011  号： Vol.11  ページ： 159-170  発行年： 2012年 
JST資料番号： W2290A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： MEMS ,  電気機械 ,  流体 ,  静電気 ,  相互作用 ,  はめ込み境界法