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J-GLOBAL ID：201302202663153737   整理番号：13A0652104

多結晶シリコン薄膜の面外曲げ振動を用いた疲労寿命評価

著者 (6件)： 種村友貴 (デンソー) ,  山下秀一 (デンソー) ,  和戸弘幸 (デンソー) ,  竹内幸裕 (デンソー) ,  土屋智由 (京大 大学院) ,  田畑修 (京大 大学院)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
巻： 4th  ページ： 223-224  発行年： 2012年10月21日 
JST資料番号： L8358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 従来の多結晶シリコン薄膜の疲労特性評価では,試験片作製時にエッチングで形成される薄膜側面の加工表面粗さにより,その結果のばらつきが大きかった。そこで,ばらつきの低減を目的として,側面へのエッチング加工を行わないメンブレンを試験片とし,メンブレンに配した錘を面外方向に振動させることで応力を印加する疲労試験手法を考案した。本手法による疲労寿命の評価結果は,ワイブル統計とパリス則から導かれる疲労破壊モデルとよく一致し,手法の妥当性を示せたと共に,疲労寿命のばらつきを一桁程度に抑制できた。(著者抄録)

シソーラス用語： *ポリシリコン ,  薄膜 ,  *曲げ ,  振動 ,  疲れ寿命 ,  *寿命評価 ,  エッチング ,  表面粗さ ,  Weibull分布 ,  膜 ,  共振 ,  極限強度

分類 (1件)： セラミック材料  (HC05040O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 多結晶 ,  シリコン薄膜 ,  面外曲げ ,  疲労寿命 ,  評価