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J-GLOBAL ID：201302203466722602   整理番号：13A1721077

ダイヤモンドライクカーボン薄膜のラマン解析とXPS解析との関係

著者 (2件)： 鷹林将 (東北大 電通研) ,  高萩隆行 (広島大 大学院)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 74th  ページ： ROMBUNNO.17P-D1-15  発行年： 2013年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  Ramanスペクトル ,  X線光電子分光法 ,  X線光電子スペクトル ,  *Raman分光法 ,  *スペクトル解析 ,  炭素材 ,  アモルファスカーボン
準シソーラス用語： 非晶質炭素

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： ダイヤモンドライクカーボン ,  薄膜 ,  解析 ,  XPS