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J-GLOBAL ID：201302205214995471   整理番号：13A0081594

プリンテッドエレクトロニクスのための銅材料の開発と処理

Development of Copper Materials and Processing for Printed Electronics

著者 (5件)： KURODA Kyoko (Hitachi Chemical Co., Ltd., Ibaraki, JPN) ,  NAKAKO Hideo (Hitachi Chemical Co., Ltd., Ibaraki, JPN) ,  INADA Maki (Hitachi Chemical Co., Ltd., Ibaraki, JPN) ,  NOUDOU Takaaki (Hitachi Chemical Co., Ltd., Ibaraki, JPN) ,  KUMASHIRO Yasushi (Hitachi Chemical Co., Ltd., Ibaraki, JPN)
資料名： Transactions of the Japan Institute of Electronics Packaging  (Transactions of the Japan Institute of Electronics Packaging)
巻： 5  号： 1  ページ： 20-25  発行年： 2012年12月25日 
JST資料番号： L7297A  ISSN： 1883-3365  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スクリーン印刷エレクトロニクスのための新しい材料を調査した。銅ペーストのレオロジーと保存安定性は,銅化合物の粒子形状により支配される。針状の銅化合物粒子を使用して,反応性気体の下で180°Cにおいてメタライズできる新しい銅導電ペーストを開発した。この針状の粒子を使用した銅ペーストは良好な保存安定性と印刷可能性を示した。結晶構造を有する高密度1.5μm厚Cu層の得られた導電性トレースは2.4μΩ・cmの体積抵抗と優秀な信頼性を示した。そのメタライゼーションのメカニズムは焼結のメカニズムと異なると考えられる。また,高密度銅トレースの接続信頼性は焼結した物と比べ優れていた。

シソーラス用語： *電子技術 ,  *スクリーン印刷 ,  メタライゼーション ,  *ペースト ,  銅化合物 ,  信頼性 ,  電気抵抗率
準シソーラス用語： *プリンテッドエレクトロニクス ,  *導電ペースト

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  印刷  (ZA05040A)

引用文献 (10件)：

• [1] S. B. Fuller, E. J. Wilhelm, and J. M. Jacobson, "Ink-jet Printed Nanoparticle Microelectromechanical Systems," Journal of Microelectromechanical Sys-tems, Vo1. 11, No. 1, pp. 1213-1220, 2002.
• [2] V Subramanian, J. M. J. Frechet, P. C. Chang, D. C.Huang, J. B. Lee, S. E.Molesa, A. R. Murphy, D. R.Redinger, and S. K. Volkman, "Progress"roward Development of All-printed RFID Tags: Materials,Processes, and Devices,"Proceedings of the IEE,Vo1.93, No. 7, pp. 1330-1337, 2005.
• [3] J. Perelaer, B. J. Gans, and U. S. Schubert, "lnk jet Printing and Microwave Sintering of Concl uctive 5i1-ver Tracks," Advanced Material s, Vo1. 18, lap.2101-2104, 2006.
• [4] K. Suganuma, D. Wakuda, M. Hatamura, anci K. S.Kim, "lnk jet Printing of Nano Materials and Pro-cesses for Electronics Applications,"Higlll Density Packaging and Microsystem Integratio11, pp,1-4,2007.
• [5]N.A.Luechinger, E. K. Athanassiou, and W, J, Stark,"Graphene-stabilized Copper Nanoparticles as an Air-stable Substitute for Silver and Gold i n 1,caw-cost Inkjet Printable Electronics,"Nanotechnoloκy, Vbl.19, pp. 445201-445206, 2008.

タイトルに関連する用語 (3件)： プリンテッドエレクトロニクス ,  銅材 ,  開発