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J-GLOBAL ID：201302206946977464   整理番号：13A0604344

真空紫外吸収分光法におけるプローブ光プロファイルの評価と数密度測定への影響

Evaluation of Probe Beam Profile in VUV Absorption Spectroscopy and Its Influence on Number Density Measurement

著者 (3件)： 桑原彬 (静岡大 大学院工学研究科) ,  松井信 (静岡大 工) ,  山極芳樹 (静岡大 工)
資料名： プラズマ応用科学  (Applied Plasma Science)
巻： 20  号： 2  ページ： 130-134  発行年： 2012年12月 
JST資料番号： L4460A  ISSN： 1340-3214  CODEN： POKAFE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラズマ中の原子数密度はプラズマ物理学,材料プロセシング,電気推進機や,宇宙往還機の熱防護材の開発等において重要なパラメータであるが,その計測手法は確立されていない。本研究では,誘導プラズマを光源とした真空紫外吸収分光システムを構築し,プローブ光プロファイル形状をレーザー吸収分光法で評価することで数密度測定への影響および測定範囲,精度について検証している。その結果,プローブ光と測定対象の温度比により透過率と吸収量の関係は異なり,対象の温度分布を把握する必要があることがわかった。また,光源内吸収を考慮した結果,実験値は理論曲線とよく一致し,常温ガスを用いたプローブ光プロファイル形状の同定に成功した。

シソーラス用語： *プラズマ密度 ,  *プラズマ診断 ,  *吸光分光分析 ,  *数密度 ,  *原子 ,  温度分布 ,  誘導結合プラズマ ,  *ビームモニタリング ,  *空間分布 ,  プローブ ,  レーザビーム ,  精度
準シソーラス用語： ビームプロファイル ,  レーザプローブ ,  原子数密度 ,  真空紫外吸収分光法

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (5件)：

• 1) D. G. Fletcher, AIAA Paper 98-2458, 1998.
• 2) H. Takayanagi, et al., AIAA Paper 2009-4241, 2009.
• 3) H. Nagai, et al., Rev. Sci. Instrument 74 (2003) 3435.
• 4) M. Matsui, et al., AIAA Paper 2006-0767, 2006.
• 5) J. R. Cedolin, et al., AIAA Paper 94-2739, 1994.

タイトルに関連する用語 (4件)： 真空紫外吸収分光法 ,  プロファイル ,  評価 ,  密度測定