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J-GLOBAL ID：201302206964220109   整理番号：13A1300916

Xe注入アルミニウムの陽電子消滅Dopplerブロードニング研究

Positron annihilation Doppler broadening study of Xe-implanted aluminum

著者 (5件)： YU R.s. (Key Lab. of Nuclear Analysis Techniques, Inst. of High Energy Physics, Chinese Acad. of Sciences, No. 19 Yuquan Lu ...) ,  MAEKAWA M. (Japan Atomic Energy Agency, Advanced Sci. Res. Center, Watanuki 1233, Takasaki, Gunma 370-1292, JPN) ,  KAWASUSO A. (Japan Atomic Energy Agency, Advanced Sci. Res. Center, Watanuki 1233, Takasaki, Gunma 370-1292, JPN) ,  WANG B.y. (Key Lab. of Nuclear Analysis Techniques, Inst. of High Energy Physics, Chinese Acad. of Sciences, No. 19 Yuquan Lu ...) ,  WEI L. (Key Lab. of Nuclear Analysis Techniques, Inst. of High Energy Physics, Chinese Acad. of Sciences, No. 19 Yuquan Lu ...)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 282  ページ： 724-728  発行年： 2013年10月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 陽電子消滅Dopplerブロードニングの測定を行って,100から600°Cに亘る温度での熱アニーリングにおける380keV Xe⁺注入アルミニウムにおける欠陥の情報をキャラクタライズした。結果は,すべての注入時の試料における空格子点型欠陥の深さにおいて広がった分布を示唆した。他方,注入線量の増加とともに,欠陥リッチ領域は,試料表面へシフトした。アニーリング温度の上昇が,1E15及び1E16 Xe⁺cm^-2の注入線量をもつ試料において,空格子点及びXe_nV_mクラスタの表面指向マイグレーション及び合体を引き起こすことが分かった。1E17 Xe⁺cm^-2の高線量で注入した試料において,陽電子消滅は,ポスト注入アニーリング処理下において,このような欠陥の分解さらには排除を明らかにした。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *アルミニウム ,  *キセノン ,  *イオン注入 ,  *空格子点 ,  温度依存性 ,  マイグレーション【化学物質】 ,  合体 ,  *陽電子消滅 ,  Doppler効果 ,  *深さ分布 ,  拡幅
準シソーラス用語： *Dopplerブロードニング

分類 (3件)： 金属の放射線による構造と物性の変化  (BK16122N) ,  金属の格子欠陥  (BK12030F) ,  陽電子消滅  (BK16052L)

タイトルに関連する用語 (6件)： Xe ,  注入 ,  アルミニウム ,  陽電子消滅 ,  Dopplerブロードニング ,  研究