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J-GLOBAL ID：201302207885222607   整理番号：13A0071314

結晶質材料のための新しいナノ規模非接触温度測定技法

A novel nano-scale non-contact temperature measurement technique for crystalline materials

著者 (2件)： WU Xiaowei (Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA) ,  HULL Robert (Rensselaer Polytechnic Inst., NY, USA)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 46  ページ： 465707,1-7  発行年： 2012年11月23日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高空間分解能かつ非接触温度測定能力を達成するために,熱走査型電子顕微鏡法(ThSEM)と呼ぶ新しい技法を導入した。接触プローブあるいは光学プローブを用いる代わりに,ThSEMは,走査型電子顕微鏡中での電子線後方散乱回折(EBSD)における温度依存熱散漫散乱(TDS)効果を利用する。低エネルギーで作動するSEMを用いてThSEMは理論的に10nmより小さい空間分解能を達成できる。ThSEMはSEMの長所を保存し,広い範囲の視野にわたってズームすできる。ナノ規模温度測定のためのThSEMの実行可能性を吟味し,Si試料に対する異なる指数の菊池線強度の温度依存性を示し,Debye-Waller因子(DWF)を用いて定量的に説明し,温度敏感性に影響を与えるパラメータを解析し,最適化した。推定される100nmより小さい空間分解能で非摂動およびナノ規模空間分解能差分温度測定を得るためにこの技法が使用できることを証明した。

シソーラス用語： *温度測定 ,  非接触測定 ,  *電子顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  *電子回折 ,  *熱散漫散乱 ,  温度依存性 ,  Debye-Waller因子 ,  パラメータ ,  最適化 ,  材料
準シソーラス用語： *ナノ規模非接触温度測定 ,  走査型電子顕微鏡 ,  電子線後方散乱回折 ,  *熱走査型電子顕微鏡法 ,  結晶質材料

分類 (1件)： 温度測定,温度計  (AD06010K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 規模 ,  非接触 ,  温度測定 ,  技法