文献

J-GLOBAL ID：201302208389247302   整理番号：13A0655829

シリコン基板上の高周波数(>100MHz)ZnO超音波アレイトランスデューサの製作のための新しい方法

A Novel Method for Fabrication of High-Frequency (>100 MHz) ZnO Ultrasonic Array Transducers on Silicon Substrates

著者 (9件)： ZHANG J. Y. (Univ. de Valenciennes, Valenciennes, FRA) ,  ZHANG J. Y. (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  GAO J. M. (Univ. de Valenciennes, Valenciennes, FRA) ,  XU W. J. (Univ. de Valenciennes, Valenciennes, FRA) ,  CARLIER J. (Univ. de Valenciennes, Valenciennes, FRA) ,  JI X. M. (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  NONGAILLARD B. (Univ. de Valenciennes, Valenciennes, FRA) ,  HUANG Y. P. (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  PIWAKOWSKI B. (Univ. de Valenciennes, Valenciennes, FRA)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 1433  ページ： 679-682  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコン基板 ,  高周波数 ,  ZnO ,  超音波アレイ ,  トランスデューサ ,  製作