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J-GLOBAL ID：201302209275071782   整理番号：13A0028657

SU-8に基づく,微細加工され移植可能な誘導結合式の受動的RF無線眼球内圧力センサー

A SU-8-Based Microfabricated Implantable Inductively Coupled Passive RF Wireless Intraocular Pressure Sensor

著者 (3件)： XUE Ning (Univ. Texas at Dallas, TX, USA) ,  CHANG Sung-Pil (Inha Univ., Incheon, KOR) ,  LEE Jeong-Bong (Univ. Texas at Dallas, TX, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 21  号： 6  ページ： 1338-1346  発行年： 2012年12月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 眼球内圧力(intraocular pressure: IOP)検知用の,SU-8に基づく小型で移植可能な受動的無線圧力センサーを設計し,作製し,特性を求めた。このセンサーは,金の平面らせんコイルインダクター,金の2枚平行板キャパシター,及びSU-8の圧力感受ダイアフラムから構成され,SU-8積層により密封されている。機能部分の大きさは1.52mm x 3.23mm x 0.2mmである。外部コイルでセンサー・インピーダンスを測定することによりIOP信号を得て,共振性周波数応答の位相落ち込み周波数が0~60mmHgの範囲内でIOPにほぼ比例することを見出した。圧力感受膜の厚さを最適化することにより,空気中で7035ppm/mmHgの,生理食塩水中で3770ppm/mmHgのかなり高い感度が得られた。また外部検出コイルの寸法の最適化を検討し,6mmの最大動作距離を得た。

シソーラス用語： *フォトレジスト ,  *微細加工 ,  *眼圧 ,  *圧力センサ ,  *MEMS ,  *電磁結合 ,  無線伝送 ,  生体埋込 ,  三次元 ,  周波数応答
準シソーラス用語： SU-8 ,  RF MEMS ,  誘導結合 ,  IOPセンサ

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  生体計測  (EL03020C)

タイトルに関連する用語 (7件)： 微細加工 ,  移植 ,  誘導結合 ,  RF ,  無線 ,  眼球 ,  圧力センサー